是70年代以來新崛起的一種高能脈沖器件，脈沖寬為微微秒（10-12）秒級，脈沖峰值功率超過千兆（109）瓦，脈沖能量大于100焦耳，脈沖重復頻率每秒幾百次，效率超過10％。雖然脈沖峰值功率比起化學脈沖激光器的1012瓦尚差三個數量級，但從發展來看前途很大。尤其是件的波長大多分布在紫外區，波長又可調，可望在受控核聚變、同位素分離、等離子體診斷、有機物的冷光滑機械加工、星際通信、光武器等方面一展身手。
“準分子”不同于一般的穩定分子，它并不是真正的分子，在自然界的正常狀態中也不存在。準分子是人工制造的一bai種僅能在激發態以分子形式存在（激發態壽命10-8秒），而在基態（基態壽命10－3秒）則離解成原子的不穩定復合物，也就是說，它在激發態復合成分子，在基態又離解為原子。如惰性氣體原子，外層軌道（殼層）被電子填滿，因此它的原子價為零，一般不與任何原子結合成分子。但當它們一旦受到某種外界激勵處于激發態時，就可以與其他原子結合成一個不穩定分子，習慣上稱作“受激準分子”。當受激準分子從激發態受激躍遷回基態時（準分子離解為原來的原子狀態），通過受激輻射和諧振放大作用就會有激光輸出。這種激光器就叫做“”。
的特點：
1、準分子以激發態形式存在，壽命很短，僅有10^(-8)S量級，基態為10^(-13)S量級，躍遷發生在低激發態和排斥的基態（或弱束縛）之間，其熒光譜為一連續帶。
2、由于其熒光譜為一連續帶，故可以實現波長可調諧運轉。
3、由于激光躍遷的下能級（基態）的離子迅速離解，激光下能級基本為空的，極易實現粒子數反轉，因此量子效率很高，接近100%，且可以高重復頻率運轉。
4、輸出激光波長主要在紫外線到可見光段，波長短、頻率高、能量大、焦斑小、加工分辨率高，更適合用于高質量的激光加工。
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