點衍射干涉儀的精度檢驗方法

點衍射約束儀的可靠性強，精密度考察方法步驟

點衍射干預儀儀儀（Point Diffraction Interferometer，PDI）不是種根據衍射干預儀儀原理圖的光學薄膜測試設施設備。它參與智能機械束孔洞后會產生近乎期望的點線光源對產品面上參與測試，可能達到對產品圖案、面上粗造度、光折射率等技術參數的高精確度測試。點衍射干預儀儀儀不想要標準化考生件，可能應用于超寬精確度面型的探測，不是種比較決定性的高精確度測試測量器器。

1.1測量激光切割光路

考試體統通常由D7點衍射抵觸儀主機系統，準直器，5mm口徑規格的鋁鏡，電子光學網站等構造。

1.2 檢驗的環境

溫： 21℃±1℃；溫度： 30%-70%

1.3 絕 對gps精度測試（Accuracy）

 絕 對定位精度的測試按照波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的估算技術，WRMSD是干涉儀儀穩明確性和檢測更實效性的嚴格規范原則。它定意為任何檢測波前差距的均方差配合2X均方差的檢測集，并定意為任何檢測波前的平均水平值的合理決定性。

測量方法步驟：1） 測試的部分從0°現在開始繞光軸以45°步長平移8次展開在測量。平移是重要的，以檢測在測量系統化布置產生的其它平移對不上稱像差。

2） 測試測試部件從22.5°開始繞光軸以45°步長選轉8次開始校正。

3） 在不能圓滑的情況下完成處理抵觸圖后，從0°剛就開始的八個波一往無前行評均統計，取得評均波前WF0AVG_0，再從22.5°剛就開始的八個波前也完成評均統計，取得評均波前WF0AVG_225。

4） 計算方法WF0AVG_0和WF0AVG_225的不同之處，實現絕 對高精度。

昆明昊量光電子設施有限制我司推銷的點衍射約束儀，型號D7在客戶現場進行了干涉儀精度的檢測，實驗測得該干涉儀的精度為0.707nm RMS 。

圖1 千萬精準度驗測結論

1.4 連續精密度較測試（Repeatability）

從復控制要求的檢查自動在估測按照波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的估算出做法。對內容如下圖2的波向前走行從復性自動在估測，共分自動在估測30組，每組自動在估測5次。選購1,3,5,7…29奇數組的信息做出均值，有均值波前WF0AVG_29，選購2,4,6,8…30偶數組的信息做出均值，有均值波前WF0AVG_30。估算出WF0AVG_0和WF0AVG_225的相互影響，有從復控制要求。

昆明昊量光電子環保設備有限制的科技有限公司的銷售的愛沙尼亞Difrotec科技有限公司的的點衍射干擾儀的重復精度，經過測量計算，重復精度為：0.25nm RMS(λ/2500)，如下圖3。

圖2 鋁霧面型3D圖

圖3 反復重復的精密度監測但是

1.5 干預儀體統設置

D7：點衍射干預儀主機設備；DA1：150mm/230mm準直器

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