膜厚測量儀（測量厚度1nm~1.8mm）

 就比如：半導體設備（硅，多晶硅硅，多晶硅）半導體技術有機物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）電子光學廠自動化（MEMS）防非金屬氧化物/氮化物光刻膠硬鍍層（增碳硅，類金剛石炭）整合物涂膜（聚對二甲苯，聚甲基亞克力甲酯，甲基丙烯酸酯）滿原子整合物 

MProbe膜厚測量儀（測量厚度1nm~1.8mm）操作簡單，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚測量設備可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達200-1700nm，因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。 設備中無移動組件，所以測量結果幾乎是即時得到的；TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明，測量歷史、動態測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結果。

 

膜厚檢測儀區分： 1、單點膜厚檢測——MPROBE-20MPROBE-20膜厚衡量儀不是款臺式機單點膜厚衡量專用儀器，專用儀器運作簡短，快捷鍵擁有檢樣的薄厚和彎折率，并可出示不相同光波范疇（選代替不相同薄厚聚酰亞胺膜）的決定。MPROBE-20體現了如下那些形號，投資者可會根據個人要求的吸光度范疇和聚酰亞胺膜薄厚做好的決定。

可供會選擇主要參數：

具體型號	光波波長面積	中心配制	板厚為空間
VIS	200nm -1100nm	F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos,  16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp	10nm – 75 μm
UVVISSR	700nm -1100nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp	1nm -75μm
VIS-HR	900nm-1700nm	F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp	1μm-400μm
NIR	200nm-800nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	50nm – 85μm
UVVisF	200nm -1700nm	F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp	1nm – 5μm
UVVISNIR	1500nm-1550nm	F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp	1nm -75μm
NIRHR	200nm -1100nm	F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption	10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

 2、單點手持式膜厚量測——MPROBE HCMPROBE HC膜厚檢測儀一款特征提取MPROBE-20機構建設專門于檢測斜面和大形零件及運轉情況上的涂覆，手摸動探頭替換試樣臺。

 最主要的運作：

定位精度	0.01nm或0.01%
更精密度	0.2%或1nm
不穩性	0.02nm或0.03%
聚視點規格尺寸	0.2mm或0.4mm
打樣定制尺寸大小	>25mm
規格範圍	0.05-70um

 3、凝焦光點膜厚測量儀——MPROBE 40MPROBE 40一款自動對焦的小黑斑膜厚檢測方法控制系統化，該車輛將顯微控制系統化和膜厚檢測方法設施運用好，用在對膜厚的微區檢測方法，黑斑可達到2μm。該設施結合拍照和圖片軟件，可精確度體現待測位子，并并且體現檢測方法沒想到。

該裝備有與眾不同光波波長時間范圍可供選購，可供選購的成品技術參數給出：

 4、原位測試膜厚測試儀——MPROBE 50 INSITUMPROBE 50 INSITU就是一款幫助原位檢測的膜厚檢測的儀，該儀器按照門控動態數據收采行為那么都可在高環保光的經濟條件下工作上。不僅如此該材質膜厚檢測的儀幫助來樣加工以滿意不同的圖案的真空室腔。可根據能用的光纖激光切割機的任務欄圖標，幫助斜入射和垂直線入射。燈光都可專注檢樣外表面或準直,探測器溫度探頭都可防止在磨合室光纖激光切割機的端口處實物或內部，基于該膜厚檢測的儀也沒有位移零配件，通暢檢測的時間段約10ms。

  因此該材質還要不同波長規模要選，可供使用材質正確

 5、扶持Mapping的準確把握膜厚在測定儀——MPROBE 60MPROBE 60有的是款精準定位并可做mapping的膜厚衡量設配，重新表面粗糙度能達到到0.01nm，表面粗糙度能達到到1nm，mapping區間能達到到300*300mm。并扶持幾種光的波長區間待選。

供選擇光波長機型：

 6、高清在線膜厚衡量儀——MProbe 70MProbe 70就是款高功能膜厚預估儀，主要的設計用來24/7生產銷售渠道推廣的間斷預估。該主設備主要的有哪幾種標準配置其中一個是在產渠道推廣添置各個規定的攝像頭，第二個種是將攝像頭裝在掃一掃儀上掃一掃。