品牌 | 其他品牌 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
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組件類別 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
SEM極速刻蝕子操作系統
XENOS刻寫子系統是一種允許設計圖案數據并產生用于帶電粒子束(例如用于半導體光刻應用或聚焦離子束系統的電子束)轉向的相應偏轉信號的系統。可以連接到傳統的掃描電子顯微鏡、FIB或雙光設備上,升級系統,在半導體或其他材料上進行納米光刻。
高速收費站刻寫
應該達到高達模型40MHz的像數時延。根據采用了了智能化載入百度算法,應該采取眼下SEM的有限的偏轉上行速率。改進的數據資料數據傳輸和固定時間計算與高載入時速相搭配,以給出迅速載入的那些的優點。
智慧且互通的版式
使用三階多項式掃描邏輯,可以僅基于硬件以Max速度生成和寫入這些多項式。因此,圓形、環形或橢球體可以由同心的單像素環書寫,通常在曝光過程中不需要消隱。并且,可以用Min的數據開銷和傳輸時間來實現理想的寫入速度和近似質量。此外,與結構的多邊形部分的光柵掃描相比,偏轉信號的正弦形狀消耗的偏轉帶寬要小得多。同時,寫入算法對稱地使用X軸和Y軸的帶寬。
高靈活性
模塊化系統可以進行配置,以滿zu您的需求。邏輯配置和DSP內核可以在幾分鐘內更新,以提供新功能。
選配高,運用操作界面友好合作
系統的偏轉網絡數據生成二維碼是在每軸16/32位的智能控制序方法論元器中達到的。有點是場校零不在使用下行帶寬禁止的乘法模似DAC,卻是加數建設的,作業到Max寫進極限速度,而在帶來的偏轉網絡數據中沒任何的模糊。管控軟件ECP體系結構Linux或Windows利用,CAD位置可在的成員單位中自由權利用。
SEM刻蝕子系統應用圖例:
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