品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 生物產業,電子 | 極限空間分辨率 | <1um |
高分辨率測試靶
負片黑白圖案制作 基低為10x10mm2,制作主體工程,大小安全穩相關性穩定 采取高誤差電子為了滿足電子時代發展的需求,束光刻高技術制造 架構圖片尺寸低至100nm 判別率多達到3300 lp/mm |
昊量微電子器材開售的 Test chart 規格尺系是由高gps精密度的電子器材束光刻加工制作而成,等等花型蝕刻在存在廣譜散發出(DUV-VIS-NIR)的,底材為一位10×10 mm2石英晶體襯底上。在襯底上施加壓力了修容導熱系數的鉻層,以來能夠 燒蝕鉻層,令型式長度需要縮減到100nm的而且維持了設計的概念的gps精密度,在這種方式英文也維持了型式外緣的比較好長度公差和線路度。其型式為負片花型,且沒個靶上的負片花型能夠型式透亮,而底色被鉻層阻隔。而且為配幾大類體視顯微鏡物鏡采用,有多樣花型需要采用,且一切花型都需要有很大位高度0.17公厘的蓋住的玻璃的板本要用。 |
高分辨率顯微鏡標準測試片準則載玻片靶 TC-RT01——7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes |
使用抓鑒別率的RT01,能否如此隨意、迅速的地在互傳光下判斷學習目標的鑒別率減少。層次和縱向居中共要 59 條線型,包函了gps精度從每厘米 7.5條線對 到 3300 條線對。 同時設計的簡潔編排和檢驗設計圖片尺寸的馬上顯示為了保證了精確性的加工處理。不僅如此,還會有2個的直徑在4.0-0.25 um之中的針孔,能否保證微影像光學部件部件的詳細的定量分析 |
歐姆龍星狀靶 TC-RT02 —— Resolution testchart with very high precision |
該原則尺由 5 顆西門子系統星構成的, 其優缺點是星機構的扇形組成部分制造廠的總寬低至為 150nm。該測試方法指標板特別最適合于明確擁有特別高數據光圈的電子顯微鏡物鏡的識別率 |
載玻片檢查板TC-CB50 —— CheckBoard of 50 x 50 um2 squares |
蒙題辨率顯微鏡觀察查看板的優點內壁各個棱形形均為 50 x 50 ㎡米μm,整體布局長度為 9.0 x 9.0 ㎡米公分。該靶片很適于于測試圖片偏斜和曲率,并且確保因此虛線和銳邊影響的圖片產品質量。 |
載玻片針孔靶TC-ST01 —— Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm |
該標尺上出具了直勁0.18um到4um的針孔。相等臺階式針孔間具備充足的的暗區,使待測透鏡的全部整個視場變暗。該標尺比較適應用于于電子顯微鏡透鏡的星形測試軟件和光學反應成像 |
蒙題辨率顯微鏡觀察靶常用的規格 |
Pattern Tolerance: | 100nm/cm |
光容重 OD: | OD>8 @ 400nm, 6 @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm |
光譜分析空間: | 200 - 2000nm |
肌底: | Fused Silica w/Chrome deposit |
寬度 (mm): | 10 x 10 x 1 |
塑造 : | Stainless Steel, 75 x 25 x 1.5mm, microscope slide format |