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滑動式二硫化鉬CVD制備設備
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下，穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定，在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。滑動式二硫化鉬CVD制備設備

型號：廠商性質：銷售商商
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