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紅外輻射顯微成像系統（微觀溫度分布成像）

簡述描寫：紅外輻射顯微成像系統（微觀溫度分布成像）：IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡系統使您能夠更快、更準確、更可靠地進行半導體故障分析和調試。

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系統更新時長：2024-06-12

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紅外擴散顯微成相系統的（微觀世界室內溫度布置成相）

IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡系統使您能夠更快、更準確、更可靠地進行半導體故障分析和調試。

IREM-IV相機提供超低噪聲擴展波長PEM成像，在工作電壓為400 mV的10 nm設備上具有經驗證的發射成像靈敏度。自行設計和制造的相機，用于低維護操作，，包括6位透鏡轉盤和超過20小時的LN2持續制冷時間。光學擴展端口為外部激光掃描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升級路徑。

3.3NA SIL物鏡是定制設計的透鏡家族中的新產品，經過優化，可在整個視場上提供衍射限制成像。自對準SIL可自動調平，以符合被測設備的局部輪廓。彎曲設計提供了低的接觸力，因此適用于成像安裝器件或裸晶圓。

智能家居控制化邊界傳檢測器器，測試配件的外層邊界，極度甄別率依賴于10 um。便用與精密鑄造x-y-z網站智能家居控制化的歪斜臺，可直接性測試和補償的從滑動外緣或配件彎折變形引起的邊緣的外層歪斜。跟自對著SIL相組合，以推動安全衛生靠譜的SIL激光散斑。

擴展波長PEM成像通常是熱背景噪聲受限的。IREM-IV提供兩個內部冷卻的濾光輪，因此光譜濾光器或背景限制孔徑適用于任何測量場景。

紅外輻射顯微成像系統（微觀溫度分布成像）指標參數：

像機運作體系

● 1016×1016 液氮制冷MCT陣列 ● 25nm判別率

● 像元尺寸 18um ● 100mm運動健身比率（X-Y-Z）

● 400-2500nm 光譜響應范圍 ● 阻尼振蕩要進行隔離

● 6個位置自動物鏡轉盤 ● 電動樣品傾斜選項

● 6個位置制冷濾光片/孔徑轉輪

● 不低于20H液氮長期保持的時間

平臺尺寸規格

● 顯微鏡 810mm x 876mm x 813mm， 160kg

● 管控軟件 610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物鏡工具欄：

參照圖例

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