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滑動式二硫化鉬CVD制備設備

概述詳情：硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下，穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定，在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。滑動式二硫化鉬CVD制備設備

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生產廠特點：代理商

版本更新的時間：2021-06-02

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品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	醫療衛生,化工,生物產業,電子

拖動式二塑煉鉬CVD制法機

一、概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下，穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定，在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐，HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動)，質量流量計供氣系統，機械式真空泵等組成。
三、主要技術參數
硫粉預熱器

款型：HTF-400C運行溫：350℃MAX溫度：400℃MAX回溫帶寬：30℃/min舉薦升溫快數率：10℃/min控溫方試：智力化30段可代碼有效控制事情電阻值：AC220 V穩定電功率：800W控溫誤差：±1℃蒸汽加熱元器件封裝：電容絲雙溫區塑煉爐產品型號：HCVD-1200S系統性能參數：額定值公率(KW):3功率電流電壓(V):AC220v 50/60 HzMAX溫暖(℃):1200（1 hour）定期做工作操作濕度(℃）：1100變熱速度（℃/min）：≤50爐管面積（mm）：高純石英晶體管Φ50×1500mm加水區長寬（mm）：440mm恒溫區間距（mm）:200mm 控溫具體方法:模模糊糊PID管理和自整定改善，智能物聯化30段可代碼編程管理，具超溫文爾雅斷偶報案效果控溫表面粗糙度(℃):±1

加熱元件:電阻絲
供氣系統GMF3Z

產品客水流量計總重量：35Kg樣貌大小：600x600x650mm接連頭方式：雙卡套不銹鋼金屬接頭條件示值（N2校準)：50sccm、200sccm、500sccm；（可跟據用戶賬戶讓自定義）靈敏度度：±1.5%線型：±0.5～1.5%重覆精確度：±0.2%反映用時：氣優點：1～4 Sec，電優點：10 Sec運行壓值范圍之內：0.1～0.5 MPa MAX的壓力：3MPa標準接口：Φ6,1/4''出現：4個數字出現上班生活環境高溫:5~45℃室內外雙拋不銹鍍鋅鋼管：Φ6經濟壓力真空箱表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6
低真空機組VAU-02

能力數據：廢氣相對性內部含水率≤85%的工作電輸出功率：220V±10% 50~60HZ 工作功率：1Kw抽氣速率單位：4Ls加速度真空體：4X10-2Pa實驗真空室度：1.0X10-1Pa容加油量：1.1L進氣口管：KF25排氣口口孔徑：KF25電機轉速：1450rpm嘈音：50dB

外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力，INFICON PCG554復合真空計

滑動式二硫化鉬CVD制備設備

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