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石墨烯CVD制備設備

簡述描術：這款配置的低真空CVD系統由1200℃真空管式爐,3通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產有雙溫區、三溫區、多溫區）,可預抽真空（有高真空、低真空）,通多種氣氛（供氣系統有質子流量控制器和浮子流量控制器〕。真空泵、閥均釆用進口設備,性能可靠。控制電躋選用模糊PD程控技術,具有控溫精度髙,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。石墨烯CVD制備設備

產品設備具體型號：

公司化學性質：代理商

內容更新事件：2021-06-02

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品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	醫療衛生,生物產業,電子

石墨烯材料CVD制取裝備

這件安裝的低抽高壓氣CVD有效管控模式性軟件由1200℃抽高壓氣管式爐,3入口通道氣路有效管控模式性軟件和抽高壓氣有效管控模式性軟件組合而成,可按照移動用戶需裝修設計生產的有雙溫區、三溫區、多溫區),可預抽抽高壓氣(有高抽高壓氣、低抽高壓氣),通好幾種工作氛圍(供汽有效管控模式性軟件有質子客視頻流量有效智能管控器接線圖和浮子客視頻流量有效智能管控器接線圖〕。抽高壓氣泵、閥均釆用原產產品,耐熱性正規。有效管控電躋選則不清PD程控科技,極具控溫gps精度髙,溫沖大幅度小,耐熱性正規,簡單的易工作等性能。CVD發育發育有效管控模式性軟件使比較適合CVD藝,如氧化硅鍍一層薄薄的膜、陶片導電率試驗、ZnO微米的結構的人工控制發育發育、淘瓷濾波電容(MLCC)工作氛圍燒結工藝等。

方法技術指標

1200雙溫區供暖爐

電壓值 AC220V 50/60Hz

工率 4.5KW 雙溫度控制

Max溫暖 1150 °C

工作溫度 ≤ 1100 °C

升溫速率 ≤ 15°C/min

溫控儀系統軟件 PID自主把控好IGBT（可調硅）輸出功率，30段可編程控制器

恒溫精度 ±1°C

石英石管 25/50/60/80*1400mm

三路質量視頻流量操作整體MAX電阻值 185~245V/50HzMAX轉換功效 18W聯通超聲波流量計標測量范圍 50，100，200，500SCCM（非特定以氦氣規定，測量范圍能選定）

工作溫度 5~45 °C

工做壓力差 0.1~0.5 MPa

MAX的壓力 3MPa

精確性度 ±1.5%FS

低蒸空控制系統

選取雙極旋片抽機械泵

不銹鋼圓管充油真空室阻力表，較好的抗震烈度性

進行安裝吸附器

內嵌紅外測溫控制系統

溫度測量度部件可從受熱區頂部延申至溫區中間法蘭部膠封，衡量爐管的膠封性溫度測量度部件，N型熱電偶溫度計

活套法蘭及支承

304不銹鋼材質加快散熱式活套法蘭盤部，長期性的散熱式無被腐蝕，一位管箍就能做完活套法蘭盤部的連接方式，放取原輔料方便高效高效可調節節活套法蘭盤部的支撐著著，動態平衡爐管的承受力支撐著著。其中包含進氣，吸氣，高壓氣抽口針閥，KF封好隔絕圈及管箍團體，4個封好隔絕矽膠圈等。

供選擇硬件

混氣平臺，中，高進口真空平臺，種種剛玉坩堝，石英砂管，計算方法機掌握免費軟件，無紙見證儀，氧占比研究測試儀，加熱水反復機。

石墨烯CVD制備設備

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